北京航空航天大學

導師詳細信息

姓名：趙超(兼職)

性別：男

出生年份：1962

職稱：研究員

院系：電子信息工程學院

首次聘任導師時間：2013

現(xiàn)聘任導師一級學科名稱：電子科學與技術

現(xiàn)聘任導師二級學科名稱：微電子學與固體電子學

聘任在第二學科培養(yǎng)博士生專業(yè)名稱：無

聘任在自主設置學科培養(yǎng)博士生專業(yè)名稱：無

主要研究方向及特色：集成電路先導工藝

電子信箱：zhaochao@ime.ac.cn

辦公電話：010-82995742

辦公地點：北京北土城西路3號中科院微電子所

通信地址：北京北土城西路3號

個人簡介：

趙超博士現(xiàn)擔任中國科學院微電子所研究員，集成電路先導工藝研發(fā)中心主任，為中組部****引進的科技領軍人才。他出生于1962年3月。1978年10月至1982年7月在南京大學物理系學習，于1982年獲學士學位.1988年8月，在哈爾濱工業(yè)大學獲工學碩士學位，1999年12月在比利時魯汶大學（Katholieke Universiteit Leuven）獲博士學位.2000年1月至2010年3月，趙超在歐洲微電子研發(fā)中心（IMEC）任資深科學家（SENIORSCIENTIST）。其間，參加IMEC組織的具有重大國際影響力的集成電路先導工藝研發(fā)工業(yè)聯(lián)盟項目，從事集成電路先導工藝的研發(fā)。在高K/金屬柵（High-K/metalgate），銅互連（Cu-Interconnection），銅接觸（Cu-Contacts），三維穿硅通孔封裝（3D-TSV）等領域里做出過重要工作。在包括8英寸和12英寸集成電路生產(chǎn)線上的前道工藝和后道工藝的研發(fā)方面擁有豐富的工作經(jīng)驗。他先后在國際學術期刊和會議上發(fā)表科研論文130多篇，總體引用率超過1000次。此外，完成發(fā)明專利申請80項，其中已獲美國歐洲專利授權5項。