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        華中科技大學機械科學與工程學院研究生導師:陳修國

        分類:導師信息 來源:華中科技大學機械科學與工程學院 2018-05-18 相關院校:華中科技大學

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        華中科技大學機械科學與工程學院研究生導師陳修國介紹如下:

        姓名:陳修國

        電話:027-87558045

        職稱:講師

        郵箱:xiuguochen@hust.edu.cn

        個人基本情況

        陳修國(Chen Xiuguo, Lecturer),男,博士。2013年6月博士畢業(yè)于華中科技大學機械電子工程專業(yè),同年進入華中科技大學材料學院博士后流動站,2016年6月出站,留校工作。

        主要從事微納光學測量技術與儀器方面的研究工作。在Applied Physics Letters、Optics Express、Journal of Applied Physics、Review of Scientific Instruments等國際著名期刊發(fā)表SCI論文20余篇;申請國際國內(nèi)發(fā)明專利10余項,其中授權專利9項。

        曾獲山東省優(yōu)秀畢業(yè)生、華中科技大學優(yōu)秀畢業(yè)研究生、華中科技大學優(yōu)秀博士后、第四屆上銀優(yōu)秀機械博士論文佳作獎、機械學院“優(yōu)秀博士后獎勵計劃”、第43屆日內(nèi)瓦國際發(fā)明金獎(排名3)等榮譽。

        目前,主持有國家自然科學基金青年基金項目1項、中國博士后科學基金面上項目一等資助和特別資助項目各1項。作為項目骨干,先后參入了國家重大科學儀器設備開發(fā)專項、國家自然科學基金重大研究計劃培育項目等5項。

        主要研究方向

        微納光學測量技術與儀器

        開設課程

        1. 數(shù)字電路

        2. 光譜橢偏測量概論

        近年的科研項目、專著與論文、專利、獲獎承擔的科研項目:

        [1]  國家自然科學基金青年基金項目,納米結(jié)構廣義成像橢偏儀橢偏測量理論與方法研究,51405172,2015/01–2017/12

        [2]  中國博士后科學基金特別資助項目,基于離焦掃描廣義成像橢偏儀的三維納米結(jié)構測量方法,2015T80791,2015/04–2016/09

        [3]  中國博士后科學基金面上項目 (一等資助),基于廣義成像橢偏儀的納米結(jié)構幾何參數(shù)測量方法研究,2014M560607,2014/07–2015/07

        代表性著作:

        [1]X. G.Chen, C. W. Zhang, and S. Y. Liu, “Depolarization effects from nanoimprintedgrating structures as measured by Mueller matrix polarimetry,” Applied PhysicsLetters 105(15), 151605, 2013

        [2]X. G.Chen, S. Y. Liu, C. W. Zhang, and H. Jiang, “Improved measurement accuracy inoptical scatterometry using correction-based library search,” Applied Optics52(27), 6727-6734, 2013

        [3]X. G.Chen, S. Y. Liu, C. W. Zhang, H. Jiang, Z. C. Ma, T. Y. Sun, and Z. M. Xu,“Accurate characterization of nanoimprinted resist patterns using Muellermatrix ellipsometry,” Optics Express 22(12), 15165-15177, 2014

        [4]X. G.Chen, C. W. Zhang, S. Y. Liu, H. Jiang, Z. C. Ma, and Z. M. Xu, “Mueller matrixellipsometric detection of profile asymmetry in nanoimprinted gratingstructures,” Journal of Applied Physics 116(19), 194305, 2014

        [5]X. G.Chen, S. Y. Liu, H. G. Gu, and C. W. Zhang, “Formulation of error propagationand estimation in grating reconstruction by a dual-rotating compensator Muellermatrix polarimeter,” Thin Solid Films 571, 653-659, 2014

        [6]X. G.Chen, H. Jiang, C. W. Zhang, and S. Y. Liu, “Towards understanding thedetection of profile asymmetry from Mueller matrix differential decomposition,”Journal of Applied Physics 118(22), 225308, 2015

        [7]X. G.Chen, W. C. Du, K. Yuan, J. Chen, H. Jiang, C. W. Zhang, and S. Y. Liu,“Development of a spectroscopic Mueller matrix imaging ellipsometer fornanostructure metrology,” Review of Scientific Instruments 87(5), 053707, 2016

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